环境条件
人员、物料、制造设备的进出搬迁动线是否适当；
各洁净度等级不同区域如制程区、维修区及走道区是否有明确区分；
温度、湿度的控制是否为24小时自动监视控制和使用模式；
厂务供应系统管线、动线等是否流畅；
洁净室等级的设计评估；
二次配管(Hook-Up)施工进行的方便性；
整体系统维修保养的便利性；

经济性条件
厂务供应系统及设备采购的合理性；
厂务供应系统及设备运转的生命周期；
初期设置成本；
操作运转成本；

可靠度&稳定性
厂务供应系统的稳定性；
制程设备运转的稳定性；
所有原物料的可靠性；
高生产力的可行性评估；
备用设备系统评估选择；
储存系统设计；

安全性&环保需求
洁净室内作业人员安全考虑，如疏散路径方向的标示是否明确；
噪音、震动、排酸、排气、排水等的分类管制与防范；
位置配置图标示及悬挂；
排烟及喷淋烟感等消防设备；
紧急照明、冲身及洗眼器安装设计。、；
毒气及废气、废水监视系统建立；
意外事故发生时紧急连络网建立；
紧急应变处理程序建立与执行；
环保设施的建立如毒气处理、废水处理；
制程废弃物减量；
回收、再生、再制→再使用；

弹性扩充能力
空间预留；
厂务供应容量容许的裕度；
隔间拆装的方便性；
生产动线布置；
不停机扩充设计规划；
生产栋与支持区互动性关联；
供应管线设计扩充裕度的考虑；
扩充施工隔离性；

运转条件
具有备用设备及可用性。
瞬间停止再运转功能建立。
洁净区与污染区间各门的连锁装置。
防震、消音工程的安置。
瞬间停电复电的保护协调功能。
节约能源对策设立。
维修保养的容易度。
可靠性的监控系统建立

人员舒适度考虑
公司主要价值资产
人性化管理
人员动线进出
日常生活必须的设施