规划要因
产品的种类、产能、设计规范。
洁净室面积大小需求计算。
气流及洁净度、洁净室类别考虑。
制程设备的布置。
制程设备的Facility Requirement资料收集分类(含水、电、气…)。
制程、搬迁、出货、人员出入等动线的安排。
厂务系统及机电设备的位置安排与安全性、方便性考虑。
建厂经费与里程碑时程规划。  
制程产品对环境的特殊需求调查。
未来发展及扩充的预留。
环境保护影响评估计划

一、调查企划
产品种类、生产量、计划规模、生产流程、未来计划
土地选择、外围环境、地质钻探(土壤、水位)、震动测量、法规
二、基本计划
施工范围、制程、环境需求条件、主要设施要求条件、动线规划、节能、检讨、施工组织架构
三、基本设计
厂房设计考虑重点
制程设备流程定案
洁净室要求条件定论
各厂务设施需求量定案
自动化方式确认
人员架构配置
基本设计图完成
基础本体构建方式的决定
公害防止对策及展开
构筑材料定案及静电对策展开
四、细部设计
细部设计图完成
发包文件完成
详细工程的检讨
机器搬迁规划
成本预算估计
五、施工监管
施工图确认
施工工程进度管制
施工质量管理
施工环境管制管理
施工厂商管理
六、工程验收
品质查核
系统试车运转，数据记录
系统性能测试
竣工图等相关资料收集装订
系统说明书、手册、收集装订
测试验收报告收集装订Punch List制作
Punch List内容缺点执行改善
执行验收手续
运转训练规划
七、Hook-Up
设备机器搬迁程序与时程拟定
设备机器负责人员架构拟定
设备机器相关支持工作准备：采购、海关、行政、搬家公司、照明…
Hook-Up厂商评估选择与签约
执行设备搬迁
进行各项Hook-Up工程
Hook-Up工程测试验收
试产开始
八、制程试机、试产
部分厂务系统的供应
各项安全及监视系统正式全面进入警戒状态
制程设备开始性能试机
制程开始工作