ISO 14644中定义
空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制；
分 类
按布局分类
单区大空间式：适用于制造业、测试、安装；
隧 道 式 ：适用于半导体前线；
超洁净微净房： 适用于高级别区域。
按功能分类
工业用洁净室(工业,ICR)：如半导体、电子机器、精密机械、精致涂装、光学、印刷、计器等
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工 业 用 洁 净 室 |
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分类 |
区分 |
对应 |
内容 |
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半
导
体 |
IC.LSI制作 |
结晶精制、扩散、蚀刻、对准、表面处理、金属附着、研磨、组装、检查、半成品保管、包装。 |
超精密加工、防止尘埃附着，防止霉菌的产生，以提升及确保产品的质量。 |
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电
子
产
业 |
电子计算器 |
磁鼓、磁带。 |
加工、组装、防止尘埃附着，防止霉菌的产生，以提升及确保产品的质量。 |
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电子机器 |
光导映像管、布朗管、印刷板、小型继电器。 |
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电器计测器 |
精密电器计器。 |
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其
他
产
业
领
域 |
航空.宇宙产业 |
人工卫生、回转仪 |
防止尘埃、菌、霉引起的事故。防止地球宇宙相互间污染 |
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精密机器 |
微行轴承、普通轴承、高可靠度零件、装置。 |
防止因尘埃混入附着造成的质量劣化。 |
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光学机器 |
镜片研磨、医学用照相机、胶卷制造、微缩片、显像、干燥。 |
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精密机械 |
测定、控制用机器制造。 |
防止尘埃、菌、霉，以确保及提升质量。 |
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控制检查 |
环境控制、实验室、研究室 |
防止发生事故。(产品检查开发) |
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印刷 |
超精密印刷 |
防止尘埃、菌、霉，以确保及提升质量。 |
生物用洁净室(化学，食物，医疗，实验室等)：除ICR的要求外，以过滤或杀菌方式对生物粒子也加以控制的空间。如医学、药物、食品及生物实验等。
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生 物 洁 净 室 |
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分类 |
区分 |
对应 |
内容 |
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一
般
生
物
洁
净
室 |
制药工业 |
非无菌药品 |
固体制剂、口服液等 |
| 无菌药品 |
水针、冻干粉针，非经肠道制剂等 |
| 食品工业 |
饮料水、乳制品等装填室食用肉品、火腿包装室 |
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| 医疗设施 |
无菌手术室A级 |
人工关节手术、内脏器官移植手术(心、肾、肝等脏器)、脑神经手术、眼科手术(眼角膜移植)、剖腹生产手术 |
| 一般手术室D级 |
泌尿科手术、妇产科手术、胸部外科手术、整形外科手术 |
| 感染手术室D级 |
胸部外科、感染患者手术(梅毒、肝炎….) |
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生
物
安
全
洁
净
室 |
Ⅰ级对人体及公众危险较低 |
基础 |
枯草杆菌、大肠埃希氏杆菌 |
| Ⅱ级对人体有轻度危险，对公众的危险有限 |
基础 |
伤寒沙门氏菌、乙型肝炎病毒、结核分枝杆菌、淋巴细胞性脉络丛脑膜炎病毒 |
| Ⅲ级对人体有较高危险，对公众的危险较低 |
密闭 |
布鲁氏菌属、拉沙热病毒、荚膜组织胞浆菌 |
| Ⅳ级对人体及公众均有较高危险 |
高度密闭 |
埃波拉-玛堡病毒、口蹄疫病毒 |
按洁净等级分类（0.5µm）
•Class 1 • Class 10 • Class 100
•Class 1K • Class 10K • Class 100K
按空气流分类
•层流型
•乱流型
•水平流
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FS-209E 与ISO 14644-1标准的区别 |
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类别 |
FS-209E |
ISO14644-1 |
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等级划分 |
强调按其洁净度等级表中所列的标准等级，亦列出等级公式 |
强调按等级公式 |
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等级依据公式 |
Cm=(0.5/D)2.2×10M
粒子数/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)
Cm—某等级下，≥D的悬浮粒子最大浓度限值Pc/m3
D—被考虑粒径um
M—洁净度等级序数
Nc—英制单位的洁净度等级 |
Cm=(0.1/D)2.08×10N
Cn—同上Cm
D—同上
N同上M |
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等级数 |
M1—M7 |
ISO1—ISO9级 |
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测试时洁净室状态 |
未作规定 |
1种或更多状态 |
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测试的粒径范围要求 |
1个或更多 |
1个或更多，其粒径至少应为下一个较小粒径的1.5倍 |
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最小取样体积 |
2.83L |
2L |
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取样点数 |
非单向流：A×64/(10M)0.5
单向流：A/2.32,A×64/(10M)0.5中取较小者 |
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取样次数 |
1次或更多 |
1次，若仅为一点时则取样3次 |
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超微粒子 |
≤0.02um |
<0.1um |
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大粒子 |
未作规定 |
>5um |
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等动力取样 |
包括 |
未包括 |
